Чотирихлористий кремній

Тетрахлорид кремнію (SiCl₄, CAS 10026-04-7) — це димляча рідина від безбарвного до блідо-жовтого кольору, яка бурхливо реагує з вологою, вивільняючи густі білі пари хлористого водню. Він кипить при 57,65 градусах і вільно розчиняється в безводних органічних розчинниках, таких як бензол, хлороформ і чотирихлористий вуглець. Як основне джерело кремнію, SiCl₄ широко використовується у виробництві преформ оптичних волокон, діоксиду кремнію напівпровідникової якості, полікремнію та кремнійорганічних мономерів. Він також використовується в процесах CVD для тонких плівок SiO₂ і Si3N4, а також у виробництві пінистого кремнезему та силанових сполучних агентів. Класифікується як корозійна речовина (UN 1818, клас 8, PG II); необхідно працювати під захистом від сухого азоту, суворо ізольовано від води, спиртів і лугів.