Метилтрихлорсилан високої чистоти

Метилтрихлорсилан високої чистоти (CH₃SiCl₃, CAS 75-79-6) — це безбарвна димляча рідина, яка бурхливо реагує з вологою, вивільняючи хлористий водень. Киплячи при 66,1-66,4 градусах, він вільно розчинний у безводних органічних розчинниках. Як ключовий проміжний продукт у кремнійорганічній промисловості високо{13}}чистий MTS широко використовується для виробництва метилсиліконових смол, силанових зв’язуючих речовин (наприклад, метилтриметоксисилан), прекурсора CVD для напівпровідників і тонких плівок SiC, а також для осадження оболонок SiO₂ у преформах оптичних волокон. Доступний у промисловому класі (більше або дорівнює 99,0%) і класі високої чистоти (більше або дорівнює 99,9%). Класифікується як реакційно-активний та корозійний (UN 2985, клас 4.3+8, PG II); необхідно працювати під захистом від сухого азоту, суворо ізольовано від води, спиртів і лугів.