Трихлорсилан

Трихлорсилан (TCS, SiHCl₃, CAS 10025-78-2) — це безбарвна легколетка рідина з різким задушливим запахом хлористого водню. Киплячи при 31,8 градусах і бурхливо реагуючи з вологою, він є основною сировиною для процесу Siemens для виробництва високо{10}}чистого полікремнію для фотоелектричних сонячних елементів і напівпровідникових пластин. TCS також широко використовується у вирощуванні кремнієвих епітаксіальних пластин, кремнійорганічному синтезі (силіконові масла, каучуки, смоли, зв’язуючі агенти), CVD осадженні тонкої плівки кремнію та як селективний відновник в органічному синтезі. Доступний у промисловому класі (більше або дорівнює 99,0%) та електронному класі (до 9N чистоти). Класифікується як реактивний з водою та легкозаймистий (UN 1295, клас 4.3+2.3, PG I) з надзвичайно широким діапазоном вибуховості 1,2%–90,5%; обробляти тільки в суворо безводних умовах із захистом від сухого азоту.